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產(chǎn)品簡介：
       處理氣量：（1-1000）Nm3/h
       壓力：≤1.0Mpa
       氬氣純度：≥99.999％
       露點(diǎn)：≤-70℃
       純氬含氧量：≤1.5ppm
廣泛應(yīng)用于：
       光纖，單晶硅，多晶硅行業(yè)等氬氣的回收及純化。
       單晶硅行業(yè)氬氣回收（氬氣回收率≥95％）
       根據(jù)單晶爐工作運(yùn)行的工序，真空泵抽出的回收氬氣由閥進(jìn)入到氬氣回收設(shè)備。回收氣首先經(jīng)過鼓風(fēng)機(jī)進(jìn)入到進(jìn)氣儲罐，然后再進(jìn)入到預(yù)處理設(shè)備，除去里面的油份和雜質(zhì)。然后進(jìn)入以下氬氣純化設(shè)備單元，根據(jù)各個工藝將里面的雜質(zhì)一一去除，然后使得回收氣氣體純度達(dá)到所需要求，進(jìn)一步循環(huán)利用。